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工业氢氟酸溶液处理碳化硅表面方法

来源:http://www.yygmhg.com/news546001.html发布时间:2017/6/28 0:00:00

  经过工业氢氟酸作用氮化硅表面之后,是可以将氮化硅表面的非极性基团刻腐蚀掉,比如讲氧化的含氮基因脱氧变成极性的基团,同时也是暴露出来很多的Si-N键,这样的Si-N键也是一种极性比较高的键,这些含氮的基因和有比较高极性的Si-N键都会呈现出亲水性,减小了薄膜和溶液的接触角,这样也增加了氮化硅表面的亲水性,采用这方法是可以简单的增加表面的亲水性,因此在后续的氮化硅表面获得更加全面积且均匀的涂抹或者是旋涂薄膜。

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