氢氟酸腐蚀硅芯的原理

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由于氢氟酸能将硅芯及横梁表面的二氧化硅和硅溶解生成氯化硅，但单纯的氢氟酸对硅棒的腐蚀作用极慢，又由于浓硝酸能将硅氧化膜（sio2），但氧化膜是难溶物质，既不溶于水，也不溶于硝酸，因此单纯的硝酸也不能得到对硅芯及横梁表面进行腐蚀清洗的目的。

然而，在氢氟酸和浓硝酸的混合腐蚀液中，首先氢氟酸将硅芯及横梁表面的二氧化硅溶解，然后硝酸使硅芯及横梁表面单质硅氧化为二氧化硅，之后氢氟酸又将硝酸氧化产生的这层氧化膜溶解掉，两种酸如此交替作用从而使硅芯及横梁表面剥落掉一层，即可实现清洁硅芯及横梁的目的，通常我们是将硅芯及横梁在硝酸和氢氟酸的体积比为5：1的浓硝酸和氢氟酸混合液中进行腐蚀清洗。其化学反应式如下：Si+6HF（浓）+4HNO3（浓）=H2SiF6+4NO2+4H2O+热量

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