氢氟酸腐蚀硅芯的原理
来源:http://www.yygmhg.com/news546046.html发布时间:2018-02-28
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由于氢氟酸能将硅芯及横梁表面的二氧化硅和硅溶解生成氯化硅,但单纯的氢氟酸对硅棒的腐蚀作用极慢,又由于浓硝酸能将硅氧化膜(sio2),但氧化膜是难溶物质,既不溶于水,也不溶于硝酸,因此单纯的硝酸也不能得到对硅芯及横梁表面进行腐蚀清洗的目的。
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